تُستخدم عدادات تدفق كتلة الغاز لقياس الأكسجين والنيتروجين والهيدروجين والكلور والغازات متعددة المكونات ، بالإضافة إلى غازات المداخن في قياسات غازات الفرن وفحم الكوك. يمكنهم أيضًا قياس الغاز الحيوي والتهوية وغاز الكلور في معالجة المياه ، ومعدلات تدفق الهواء الأولي والثانوي في الأفران العالية لمحطات الطاقة. في التعدين ، يقيسون معدلات تدفق نظام التهوية أو العادم ، وفي عملية الغاز ، يقيسون معدل تدفق الهواء في الاحتراق وانبعاثات المداخن (CEMS). يمكنهم أيضًا قياس معدلات تدفق الغاز في إنتاج الأسمنت والسجائر والزجاج ، وكذلك أنظمة استرداد المذيبات.
● قياس الأكسجين والنيتروجين والهيدروجين والكلور والغازات متعددة المكونات
● غاز الفرن ، قياس غاز فرن الكوك
● قياس غازات المداخن
● قياس الغاز الحيوي والتهوية والكلور في معالجة المياه
● قياس الهواء المضغوط
● قياس الهواء الأساسي وتدفق الهواء الثانوي للفرن العالي في محطة توليد الكهرباء
● تهوية المناجم أو قياس تدفق نظام العادم
● قياس تدفق الهواء أثناء عملية الغاز
● قياس تدفق الدخان (السرعة) من المدخنة (CEMS)
● قياس تدفق غاز المداخن في جهاز التكليس
● قياس تدفق الغاز أثناء الإنتاج في مصانع الأسمنت والسجائر والزجاج
● قياس تدفق الغاز في نظام استرداد المذيبات
● قياس تدفق الغاز أثناء تصنيع رقاقة أشباه الموصلات
يعتمد مبدأ عمل مقياس تدفق الكتلة الحرارية على مفهوم نقل الحرارة. يتكون العداد من مستشعرين لدرجة الحرارة ، أحدهما في المنبع والآخر في اتجاه التيار لعنصر مسخن ، مثل سلك أو فيلم. يتم وضع العنصر المسخن في تيار الغاز ، وعندما يتدفق الغاز فوقه ، تنتقل الحرارة من العنصر إلى الغاز.
يقيس مستشعر المنبع درجة حرارة الغاز قبل أن يتدفق فوق العنصر المسخن ، بينما يقيس مستشعر المصب درجة حرارة الغاز بعد مروره فوق العنصر. الفرق في درجة الحرارة بين المستشعرين يتناسب طرديا مع معدل تدفق الكتلة للغاز.
عادةً ما يكون العنصر المسخن عبارة عن غشاء رقيق أو سلك مصنوع من مادة ذات معامل مقاومة بدرجة حرارة عالية ، مثل البلاتين. يمر تيار كهربائي عبر العنصر ، مما يؤدي إلى تسخينه. يتم مراقبة درجة حرارة العنصر بواسطة مستشعر ثالث يستخدم لتنظيم التيار المتدفق عبر العنصر ، بحيث يظل عند درجة حرارة ثابتة.
يتم معايرة العداد لتكوين غاز معين ، وضغط ، ونطاق درجة حرارة لتوفير قراءات دقيقة. تحتوي بعض مقاييس تدفق كتلة الغاز أيضًا على مستشعرات درجة حرارة وضغط مدمجة للتعويض عن التغيرات في درجة حرارة الغاز وضغطه.