● 酸素、窒素、水素、塩素、多成分ガスの測定

● オーブンガス、コークス炉ガスの測定

● 排ガス測定

● 水処理におけるバイオガス、曝気、塩素の測定

● 圧縮空気の測定

● 発電所の高炉の一次空気と二次空気の流量測定

● 鉱山の換気または排気システムの流量測定

● ガスプロセス中の空気流量測定

● 煙突からの煙の流れ（速度）測定（CEMS）

● か焼炉の排ガス流量測定

● セメント、タバコ、ガラス工場での製造中のガス流量測定

● 溶媒回収システムにおけるガス流量測定

● 半導体チップ製造時のガス流量測定

熱式質量流量計の動作原理は、熱伝達の概念に基づいています。このメーターは 2 つの温度センサーで構成され、ワイヤーやフィルムなどの加熱要素の上流と下流に 1 つずつあります。加熱された要素はガス流の中に置かれ、ガスがその上を流れると、熱が要素からガスに伝達されます。

上流センサーは加熱された要素の上を流れる前のガスの温度を測定し、下流センサーは要素の上を通過した後のガスの温度を測定します。 2 つのセンサー間の温度差は、ガスの質量流量に直接比例します。

加熱要素は通常、白金などの高い抵抗温度係数を持つ材料で作られた薄膜またはワイヤです。電流が要素に​​流れると、要素が加熱されます。素子の温度は、素子に流れる電流を調整するために使用される 3 番目のセンサーによって監視され、素子が一定の温度に保たれます。

このメーターは、正確な測定値を提供するために、特定のガス組成、圧力、温度範囲に合わせて校正されています。一部のガス質量流量計には、ガスの温度と圧力の変化を補正するための温度センサーと圧力センサーが組み込まれています。