● 酸素、窒素、水素、塩素、多成分ガスの測定

●  炉内ガス、コークス炉ガス測定

●  煙道ガスの測定

●  水処理におけるバイオガス、曝気、塩素測定

● 圧縮空気測定

● 発電所における高炉の一次空気および二次空気流量測定

● 鉱山換気または排気システムの流量測定

●  ガスプロセス中の空気流量測定

● 煙突からの煙の流れ(速度)測定(CEMS)

●  カルシナーの排ガス流量測定

●  セメント、タバコ、ガラス工場での生産中のガス流量測定

●  溶媒回収システムにおけるガス流量測定

●  半導体チップ製造時のガス流量測定

熱質量流量計の動作原理は熱伝達の概念に基づいています。メーターは、ワイヤーやフィルムなどの加熱要素の上流と下流の 2 つの温度センサーで構成されています。加熱された要素はガス流に配置され、ガスがその上を流れると、熱は要素からガスに伝達されます。

上流センサーは、加熱された要素の上を流れる前のガスの温度を測定し、下流センサーは、要素の上を通過した後のガスの温度を測定します。 2 つのセンサー間の温度差は、ガスの質量流量に正比例します。

加熱された素子は通常、白金などの抵抗温度係数が高い材料で作られた薄膜またはワイヤーです。素子に電流が流れ、発熱します。素子の温度は、素子を流れる電流を調整するために使用される 3 番目のセンサーによって監視されるため、一定の温度に保たれます。

メーターは、特定のガス組成、圧力、温度範囲に合わせて校正され、正確な測定値が得られます。一部のガス質量流量計には、ガス温度と圧力の変化を補正するための温度センサーと圧力センサーも組み込まれています。