● 산소, 질소, 수소, 염소 및 다성분 가스 측정

● 오븐 가스, 코크스 오븐 가스 측정

● 연도 가스 측정

● 수처리에서 바이오가스, 폭기 및 염소 측정

● 압축 공기 측정

● 발전소 용광로의 1차 공기 및 2차 공기 유량 측정

● 광산 환기 또는 배기 시스템 유량 측정

● 가스 공정 중 기류 측정

● 굴뚝의 연기 흐름(속도) 측정(CEMS)

● 하소로 연도 가스 유량 측정

● 시멘트, 담배, 유리 공장에서 생산 중 가스 유량 측정

● 용제 회수 시스템의 가스 유량 측정

● 반도체 칩 제조 중 가스 흐름 측정

열식 질량 유량계의 작동 원리는 열 전달의 개념을 기반으로 합니다. 미터는 와이어 또는 필름과 같은 가열 요소의 업스트림 및 다운스트림에 해당하는 두 개의 온도 센서로 구성됩니다. 가열된 요소는 가스 흐름에 배치되고 가스가 그 위로 흐를 때 요소에서 가스로 열이 전달됩니다.

업스트림 센서는 가스가 가열된 요소 위로 흐르기 전에 가스의 온도를 측정하는 반면 다운스트림 센서는 가스가 요소를 통과한 후 가스의 온도를 측정합니다. 두 센서 사이의 온도 차이는 가스의 질량 유량에 정비례합니다.

가열 요소는 일반적으로 백금과 같이 고온 저항 계수를 갖는 재료로 만들어진 얇은 필름 또는 와이어입니다. 전류가 요소를 통과하여 가열됩니다. 요소의 온도는 요소를 통해 흐르는 전류를 조절하는 데 사용되는 세 번째 센서로 모니터링되므로 일정한 온도를 유지합니다.

미터는 정확한 판독값을 제공하기 위해 특정 가스 구성, 압력 및 온도 범위로 보정됩니다. 일부 가스 질량 유량계에는 온도 및 압력 센서가 내장되어 있어 가스 온도 및 압력 변화를 보상합니다.