● Oksijen, nitrojen, hidrojen, klor ve çok bileşenli gazlar Ölçümü

● Fırın gazı, kok fırını gazı ölçümü

● baca gazı ölçümü

● Su arıtmada biyogaz, havalandırma ve klor ölçümü

● Basınçlı hava ölçümü

● Enerji santralindeki yüksek fırının birincil hava ve ikincil hava akışı ölçümü

● Maden havalandırması veya egzoz sistemi akış ölçümü

● Gaz işlemi sırasında hava akışı ölçümü

● Bacadan duman akışı (hız) ölçümü (CEMS )

● kalsinatör baca gazı akış ölçümü

● Çimento, sigara ve cam fabrikalarında üretim sırasında gaz akışı ölçümü

● Solvent geri kazanım sisteminde gaz akışı ölçümü

● Yarı iletken çip üretimi sırasında gaz akışı ölçümü

Bir termal kütle akış ölçerin çalışma prensibi, ısı transferi kavramına dayanmaktadır. Sayaç, tel veya film gibi ısıtılmış bir elemanın biri yukarı ve diğeri aşağı olmak üzere iki sıcaklık sensöründen oluşur. Isıtılan eleman gaz akımına yerleştirilir ve gaz üzerinden akarken elemandan gaza ısı aktarılır.

Yukarı akış sensörü, gazın ısıtılmış elemanın üzerinden akmadan önceki sıcaklığını ölçerken, aşağı akış sensörü, gazın elemanın üzerinden geçtikten sonraki sıcaklığını ölçer. İki sensör arasındaki sıcaklık farkı, gazın kütle akış hızı ile doğru orantılıdır.

Isıtılan eleman genellikle platin gibi yüksek sıcaklık direnç katsayısına sahip bir malzemeden yapılmış ince bir film veya teldir. Elemanın içinden bir elektrik akımı geçerek ısınmasına neden olur. Elemanın sıcaklığı, elemandan geçen akımı düzenlemek için kullanılan üçüncü bir sensör tarafından izlenir, böylece eleman sabit bir sıcaklıkta kalır.

Ölçüm cihazı, doğru okumalar sağlamak için belirli bir gaz bileşimine, basınca ve sıcaklık aralığına göre kalibre edilmiştir. Bazı gaz kütle debimetrelerinde ayrıca gaz sıcaklığı ve basıncındaki değişiklikleri telafi etmek için yerleşik sıcaklık ve basınç sensörleri bulunur.