气体质量流量计用于测量氧气、氮气、氢气、氯气和多组分气体，以及熔炉烟气和焦炉气体测量。它们还可以测量水处理中的沼气、曝气和氯气，以及发电厂高炉中的一次和二次空气流量。在采矿中，他们测量通风或排气系统的流量，在天然气处理中，他们测量燃烧和烟囱排放（CEMS）中的空气流量。它们还可以测量水泥、香烟和玻璃生产以及溶剂回收系统中的气体流速。
● 氧气、氮气、氢气、氯气及多元气体测量
● 炉煤气、焦炉煤气测量
● 烟气测量
● 水处理中的沼气、曝气和氯测量
● 压缩空气测量
● 电厂高炉一次风、二次风流量测量
● 矿井通风或排气系统流量测量
● 气体过程中的空气流量测量
● 烟囱烟气流量（速度）测量（CEMS）
● 分解炉烟气流量测量
● 水泥、卷烟、玻璃工厂生产过程中的气体流量测量
● 溶剂回收系统中的气体流量测量
● 半导体芯片制造过程中的气体流量测量
热式质量流量计的工作原理基于传热概念。该仪表由两个温度传感器组成，一个位于加热元件（例如电线或薄膜）的上游和下游。被加热的元件被放置在气流中，当气体流过它时，热量从元件传递到气体。
上游传感器测量气体流过加热元件之前的温度，而下游传感器测量气体流过元件之后的温度。两个传感器之间的温度差与气体的质量流量成正比。
加热元件通常是由具有高电阻温度系数的材料制成的薄膜或金属丝，例如铂。电流通过该元件，导致其升温。元件的温度由第三个传感器监控，该传感器用于调节流过元件的电流，使其保持恒定的温度。
该仪表根据特定的气体成分、压力和温度范围进行校准，以提供准确的读数。一些气体质量流量计还内置温度和压力传感器，以补偿气体温度和压力的变化。
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