Pengukur aliran massa gas digunakan untuk mengukur oksigen, nitrogen, hidrogen, klorin, dan gas multi-komponen, serta gas buang dalam tungku dan pengukuran gas oven kokas. Mereka juga dapat mengukur biogas, gas aerasi dan klorin dalam pengolahan air, dan laju aliran udara primer dan sekunder di tungku tinggi pembangkit listrik. Di pertambangan, mereka mengukur laju aliran ventilasi atau sistem pembuangan, dan dalam proses gas, mereka mengukur laju aliran udara dalam emisi pembakaran dan cerobong asap (CEMS). Mereka juga dapat mengukur laju aliran gas dalam produksi semen, rokok, dan kaca, serta sistem pemulihan pelarut.
● Pengukuran oksigen, nitrogen, hidrogen, klorin, dan gas multi-komponen
● Gas oven, pengukuran gas oven kokas
● pengukuran gas buang
● Pengukuran biogas, aerasi, dan klorin dalam pengolahan air
● Pengukuran udara terkompresi
● Pengukuran aliran udara primer dan sekunder tanur sembur di pembangkit listrik
● Pengukuran aliran ventilasi tambang atau sistem pembuangan
● Pengukuran aliran udara selama proses gas
● Pengukuran (kecepatan) aliran asap dari cerobong asap (CEMS )
● pengukuran aliran gas buang calciner
● Pengukuran aliran gas selama produksi di pabrik semen, rokok, dan kaca
● Pengukuran aliran gas dalam sistem pemulihan pelarut
● Pengukuran aliran gas selama pembuatan chip semikonduktor
Prinsip kerja flowmeter massa termal didasarkan pada konsep perpindahan panas. Meter terdiri dari dua sensor suhu, satu hulu dan satu hilir dari elemen yang dipanaskan, seperti kawat atau film. Elemen yang dipanaskan ditempatkan dalam aliran gas, dan saat gas mengalir di atasnya, panas dipindahkan dari elemen ke gas.
Sensor hulu mengukur suhu gas sebelum dialirkan ke elemen yang dipanaskan, sedangkan sensor hilir mengukur suhu gas setelah melewati elemen. Perbedaan suhu antara kedua sensor berbanding lurus dengan laju aliran massa gas.
Elemen yang dipanaskan biasanya berupa film tipis atau kawat yang terbuat dari bahan yang memiliki koefisien resistansi suhu tinggi, seperti platina. Arus listrik dilewatkan melalui elemen, menyebabkannya memanas. Suhu elemen dipantau oleh sensor ketiga, yang digunakan untuk mengatur arus yang mengalir melalui elemen, sehingga tetap pada suhu konstan.
Meter dikalibrasi ke komposisi gas tertentu, tekanan, dan kisaran suhu untuk memberikan pembacaan yang akurat. Beberapa pengukur aliran massa gas juga memiliki sensor suhu dan tekanan bawaan untuk mengkompensasi perubahan suhu dan tekanan gas.